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半導体材料ガス探知器 XP-703Dlll

    半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
    ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。

    【納期】2週間
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    製品オプション
  • 標準価格
    138,000
    円(税抜)
    販売価格
    117,300
    円(税抜)
  • 税込価格
    129,030
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用途

半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査に。

仕様

製品仕様
型式 XP-703D lll
検知原理 熱線型半導体式
検知対象ガス 半導体材料ガス
(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シランなど)
検知可能濃度 アルシン AsH3 0.2ppm
ホスフィン PH3 0.3ppm
ジボラン B2H6 0.1ppm
シラン H2 0.5ppm
水素 H2 1.0ppm
応答時間 10秒
検知表示 ブザー音の断続及びランプの点滅
電源(※1) 単3形マンガン乾電池4本
電池使用時間 アルカリ乾電池使用の場合、約9時間
(マンガン乾電池使用の場合約3時間)
使用温度範囲 0〜40℃
寸法 W68×H115×D32mm
重量 約400g
付属品 レザーケース、ドレンフィルタ、フィルタエレメント、
点検ガス、標準アタッチメント、
単3形マンガン乾電池4本
別売オプション Ni-Cd電池専用充電器、イヤホン
※1 アルカリ電池、Ni-Cd電池も使用可能

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